潔凈廠房設計的特點
微電子工業潔凈廠房設計是一項綜合技術，它與其他工業廠房設計有類似之處，但 也有一些特殊之處。主要特點如下：
1. 要根據生產產品的特點，確定技術要求。如空氣潔凈等級、防微振、高純物質等要求是不同的，應按具體情況確定。
2. 為確保潔凈室內所必須的潔凈度,各個專業均要求不引入或少引入污染物,不產生和少產生污染物,不滯留或少滯留污染物。
3．潔凈廠房設計是各專業設計技術的綜合，要求各專業密切協同，相互滲透和合理安排。
4． 潔凈廠房設計應確保安全生產和環保要求。各專業設計必須滿足消防防火要求。同時由于微電子工業的生產特點，生產過程中產生出一些廢水、廢氣，必須經過特殊處理達到國家排放標準后才能排放。
5． 微電子工業發展日新月異，潔凈廠房本身是一個技術密集、資金密集的產物，投資非常巨大，這就要求潔凈廠房設計要考慮一定的靈活性，以便產品換代時方便地進行技術改造。目前 SMIF 隔離技術的采用，就是一種能適應技術發展的靈活的設計。
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